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期刊论文
SiC材料,器件及其应用前景
SiC材料,器件及其应用前景
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangjuhui19
【摘 要】
:
SiC是一种具有宽禁带,高击穿场强,高饱和电子漂移速度和高热导率的半导体材料,SiC微电子与光是电子器件的潜在军事用途尤为引人注目,SiC器件最有希望成为替代Si以及饱和GaAs在内的Ⅲ-V族化合物器件
【作 者】
:
石志宏
李佑斌
【机 构】
:
电子工业部电子科学研究院
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
1996年4期
【关键词】
:
半导体材料
微电子
光电子
碳化硅
Semiconductor material SiC Microelectronics Photoelectronics
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SiC是一种具有宽禁带,高击穿场强,高饱和电子漂移速度和高热导率的半导体材料,SiC微电子与光是电子器件的潜在军事用途尤为引人注目,SiC器件最有希望成为替代Si以及饱和GaAs在内的Ⅲ-V族化合物器件在高温,高速,高功率以及强辐照环境下应用的新型半导体器件。
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