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基于MEMS工艺,用硅橡胶制作了光栅常数可变型光栅,可用于光学MEMS器件中的关键部件,给出了可调谐光栅的详细制作工艺.经ANSYS对硅橡胶衬底光栅的弹性模量动态模拟,结果显示本光栅具有良好的线性响应.
一种新型可调谐光栅的制作工艺
【摘 要】
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基于MEMS工艺,用硅橡胶制作了光栅常数可变型光栅,可用于光学MEMS器件中的关键部件,给出了可调谐光栅的详细制作工艺.经ANSYS对硅橡胶衬底光栅的弹性模量动态模拟,结果显示本
【机 构】
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厦门大学机电系,厦门大学物理系,厦门大学纳米工程技术研究中心
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2005年3期
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