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分析了影响软X射线接触显微成像分辨率的若干因素,如:记录过程中的辐射损伤,后续放大设备读出引进的误差,以及菲涅尔衍射效应等,并且提出改善分辨率的一些实用方法.
影响接触显微成像分辨率的若干因素分析
【摘 要】
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分析了影响软X射线接触显微成像分辨率的若干因素,如:记录过程中的辐射损伤,后续放大设备读出引进的误差,以及菲涅尔衍射效应等,并且提出改善分辨率的一些实用方法.
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学技术大学
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2001年7期
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