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过氧聚钨酸薄膜上光栅的制备

来源 :新疆大学学报：理工版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：woshizzh1713
【摘 要】
：
用过氧聚钨酸(PPTA)水溶液,通过离心涂膜法在显微镜载玻片上制备了具有光滑表面且厚度为100nm的PPTA薄膜.利用PPTA薄膜在紫外光照下可硬化的特点,在薄膜上制备光栅进行研究并
【作 者】
：
阿布力孜·伊米提 伊藤公纪 
【机 构】
：
新疆大学化学与化工学院,横滨国立大学环境科学研究中心
【出 处】
：
新疆大学学报：理工版
【发表日期】
：
2002年1期
【关键词】
：
过氧聚钨酸薄膜 光栅 双光束干涉曝光法 光集成回路 制备原理 离心涂膜法 peroxopolytungstic acid thin film  diffract 
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用过氧聚钨酸(PPTA)水溶液,通过离心涂膜法在显微镜载玻片上制备了具有光滑表面且厚度为100nm的PPTA薄膜.利用PPTA薄膜在紫外光照下可硬化的特点,在薄膜上制备光栅进行研究并通过双光束干涉曝光法,制备了凹面光栅.结果表明,PPTA是作为研制光栅以及其它光学元件的薄膜材料,具有很高的利用价值.
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