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微电子技术已经渗透到许多领域,集成纳升级DNA分析系统就是微电子技术与分析化学结合的产物.其中荧光检测器是由集成电路工艺制成的一列光电管组成.检测用荧光的波长为515 nm,硅光电管对此波长的光响应比较小.为了提高光电管的响应灵敏度,用硼离子注入制成浅BC结.为了防止等离子刻蚀损伤硅层,采用了先蒸铝后淀积增透膜的工艺.