【摘 要】
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随着集成电路复杂性和所用材料的变化 ,它产生更多的热量 ,因此需要对这种热量加以监视 ,以提高效率和改善可靠性。研究人员测量了各种薄膜半导体材料的热性能 ,发现与块状体
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随着集成电路复杂性和所用材料的变化 ,它产生更多的热量 ,因此需要对这种热量加以监视 ,以提高效率和改善可靠性。研究人员测量了各种薄膜半导体材料的热性能 ,发现与块状体积材料的特性有很大不同。南梅托迪斯特大学 (达拉斯 )机械工程教授 P.Road领导的一研究小组建立了一个
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