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由数值求解均匀的波尔兹曼方程，计算出在高频均匀的电场下氩放电中电子的能 量分布。计算适合于从低电子密度到足够高电子密度的广大区域。电场与气体密度的 比值在范围 １０~(－１６)Ｖcm＜Ｅ／Ｎ＜１０~(－１５)Ｖcm2．研究了在不同频率的高频电场下,电 子－电子碰撞对电子能量分布的影响。
低气压高频氩放电中电子能量分布的研究
【摘 要】
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由数值求解均匀的波尔兹曼方程，计算出在高频均匀的电场下氩放电中电子的能 量分布。计算适合于从低电子密度到足够高电子密度的广大区域。电场与气体密度的 比值在范围 １０~(－１６)Ｖcm
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
【出 处】
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大连理工大学学报
【发表日期】
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1991年4期
【基金项目】
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辽宁省科委资助课题
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