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对CMOS图像传感器加工彩色滤镜和微透镜工艺进行深入研究,总结出整个滤镜和微透镜工艺的流程及加工方法。虽然其工艺具有相当的难度,然而平面化和微透镜技术是先进色彩处理技术必须解决和实现的关键问题,所以彩色滤镜的工艺继续开发和研究是非常有积极意义的。
基于CMOS图像传感器的彩色滤镜和微透镜工艺研究
【摘 要】
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对CMOS图像传感器加工彩色滤镜和微透镜工艺进行深入研究,总结出整个滤镜和微透镜工艺的流程及加工方法。虽然其工艺具有相当的难度,然而平面化和微透镜技术是先进色彩处理技
【机 构】
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上海集成电路研发中心测试技术部
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2020年2期
【基金项目】
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国家科技重大专题课题(2011ZX02702_004)
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