【摘 要】
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SiC陶瓷作为新一代具有优异综合性能的反射镜材料,已在空间相机反射镜中得到了广泛应用.在SiC光学加工后期,需要进行表面改性以降低表面粗糙度提升表面质量,这将直接影响SiC反射镜的加工精度和周期,因此,有必要对其优化改进加工工艺.本文引入KMnO4添加剂,分析了参与反应的化学反应机理,强氧化性MnO4-在SiC试样表面发生化学反应,降低了金刚石微粉对SiC反射镜的磨削去量,实现了降低表面粗糙度的目的.通过工艺实验得以验证,系列金刚石微粉抛光Φ200 mm 口径常压烧结SiC反射镜,添加KMnO4后表面粗糙
【机 构】
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北京空间机电研究所,北京 100094;北京卫星环境工程研究所,北京 100094;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
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SiC陶瓷作为新一代具有优异综合性能的反射镜材料,已在空间相机反射镜中得到了广泛应用.在SiC光学加工后期,需要进行表面改性以降低表面粗糙度提升表面质量,这将直接影响SiC反射镜的加工精度和周期,因此,有必要对其优化改进加工工艺.本文引入KMnO4添加剂,分析了参与反应的化学反应机理,强氧化性MnO4-在SiC试样表面发生化学反应,降低了金刚石微粉对SiC反射镜的磨削去量,实现了降低表面粗糙度的目的.通过工艺实验得以验证,系列金刚石微粉抛光Φ200 mm 口径常压烧结SiC反射镜,添加KMnO4后表面粗糙度相应减小,W7磨料达到了单独使用W3磨料抛光表面粗糙度的效果,W0.1磨料抛光后表面粗糙度Sq达到1.628nm(4D,10×),优于抛光表面改性SiC超光滑表面质量.KMnO4添加剂的引入实现了SiC反射镜高效、高精度光学加工的目的.
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