【摘 要】
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InP 单晶衬底已广泛用于制备长波长光纤通信的激光器和探测器。除了一般的 n 型衬底材料以外,p 型材料的使用也受到重视并获得成功。因为锌在 InP 中具有杂质效应,所以掺锌生
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,上海半导体器件十六厂
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InP 单晶衬底已广泛用于制备长波长光纤通信的激光器和探测器。除了一般的 n 型衬底材料以外,p 型材料的使用也受到重视并获得成功。因为锌在 InP 中具有杂质效应,所以掺锌生长 p-InP 还能获得低位错或
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