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家用热水器的电磁阀长期与煤气接触，易受煤气中氯离子和硫离子等杂质的腐蚀。采用磁射频反应溅射技术，对电磁阀的表面进行了真空渗氮处理，并在表面沉积性能优良的氮化铝（ＡｌＮ）钝化膜，试验表明，该方法可提高电磁阀的抗蚀性。
提高家用热水器电磁阀抗蚀性的途径
【摘 要】
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家用热水器的电磁阀长期与煤气接触，易受煤气中氯离子和硫离子等杂质的腐蚀。采用磁射频反应溅射技术，对电磁阀的表面进行了真空渗氮处理，并在表面沉积性能优良的氮化铝（ＡｌＮ）钝化膜，试
【机 构】
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华中理工大学固体电子学系
【出 处】
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材料保护
【发表日期】
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1995年4期
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