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超高真空电子束蒸发系统ULS400的技术改造及新应用
超高真空电子束蒸发系统ULS400的技术改造及新应用
来源 :现代仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:war3mx1017
【摘 要】
:
本文主要介绍安装在超高真空电子束蒸发系统ULS400中--自行设计、研制的恒温控制系统以及它在纳米科技领域发挥出的新作用:制备多种特殊结构的纳米材料,包括首次在超高真空条
【作 者】
:
王银川
许向东
【机 构】
:
北京大学化学与分子工程学院
【出 处】
:
现代仪器
【发表日期】
:
2004年5期
【关键词】
:
超高真空
纳米科技
纳米材料
纳米线
恒温控制系统
电子束蒸发
制备
单晶硅
高品质
Ultrahigh vacuum systemElectron beam
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本文主要介绍安装在超高真空电子束蒸发系统ULS400中--自行设计、研制的恒温控制系统以及它在纳米科技领域发挥出的新作用:制备多种特殊结构的纳米材料,包括首次在超高真空条件下制备出高品质的一维单晶硅纳米线等.
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