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基于压电和精密驱动技术，利用压电叠堆作为驱动器，结合柔性铰链位移放大机构设计了流体泵样机，进行了试验研究。分析了压电叠堆TokinAE0505D16的滞环特性，从理论上研究了该压电叠堆的刚度特性和快速响应特性。设计制造了用于位移放大的柔性铰链放大机构，对柔性铰链放大机构扭转变形和转角刚度的影响因素进行了理论分析，确定了所设计的柔性铰链放大机构各结构参数；测试了柔性铰链放大机构在不同电源激励下的动态响应、幅频特性、迟滞特性、输出力与输出位移特性，得出了影响放大机构放大倍数和输出特性的因素。利用有限元分析软件