【摘 要】
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<正>3石英玻璃石英玻璃是由二氧化硅(Si O2)单一组分构成的特种工业技术玻璃。由于其具有耐温、耐酸(氢氟酸和热磷酸除外)、低膨胀和极佳的光谱透过性等特殊的理化性能,已成
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<正>3石英玻璃石英玻璃是由二氧化硅(Si O2)单一组分构成的特种工业技术玻璃。由于其具有耐温、耐酸(氢氟酸和热磷酸除外)、低膨胀和极佳的光谱透过性等特殊的理化性能,已成为现代科学技术的重要材料,广泛应用于半导体工业、光通讯、电光源等高新技术领域,尤其是半导体技术领域中,石英玻璃是不可缺少的辅助材料。由于石英玻璃具有一系列优异的综合性能使其它材料难以替代,尤其在微电子、信息、激光、航空航天、
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