【摘 要】
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对目前硅中硼、磷去除技术进行了综述,并针对生产高纯硅过程中硼、磷难除去的问题,提出采用熔炼造渣-酸洗的新工艺流程去除硼、磷.结果表明:通过熔炼造渣-酸洗处理之后,硼的
【机 构】
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湖南有色金属研究院,湖南长沙,410015
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对目前硅中硼、磷去除技术进行了综述,并针对生产高纯硅过程中硼、磷难除去的问题,提出采用熔炼造渣-酸洗的新工艺流程去除硼、磷.结果表明:通过熔炼造渣-酸洗处理之后,硼的含量可降至0.5μg/g以内,磷的含量可降至1.2 μg/g.该工艺除杂效果显著、流程简单、成本低、易实现产业化；可有效地处理硼、磷含量高的硅料,且除杂效果显著.
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