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为了对微米尺度气体间隙下放电击穿过程进一步研究,在大气压空气环境下进行了电极间距为1μm~100μm的直流击穿实验。绘制了击穿电压曲线与Paschen曲线对比,针对1μm~10μm击穿电压偏离Paschen曲线进行分析。通过推导计算,得出在1μm~10μm时随着外加电压的增加,阴极较高的离子数密度将会产生较高的附加电场,附加电场随着电极间距的增加而减小,从而在微间距下存在较强的离子增强效应;最后,结合离子增强效应二次系数γ'与Townsend二次系数γ的比值,γ'/γ随电极间距d的变化曲线