【摘 要】
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本文意在寻求双质量硅微机械陀螺仪正交校正最优方案。首先介绍了带有正交校正和检测力反馈梳齿的双质量硅微机械陀螺结构,量化分析了正交误差对输出信号的影响并进行了仿真,
【机 构】
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中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,北京航天控制仪器研究所,东南大学仪器科学与工程学院
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本文意在寻求双质量硅微机械陀螺仪正交校正最优方案。首先介绍了带有正交校正和检测力反馈梳齿的双质量硅微机械陀螺结构,量化分析了正交误差对输出信号的影响并进行了仿真,结果显示解调相角变化为±2°,200（°）/s的正交误差等效输入角速率可引起15（°）/s的输出信号变化。然后,对目前3种比较主流的硅微机械陀螺仪正交校正方法（电荷注入法（CIM）、正交力校正法（QFCM）和正交耦合刚度校正法（QCSCM））进行了实验研究,从理论上证明了这3种方法的可行性。对未加入正交校正
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