【摘 要】
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为了进一步降低微机电系统（MEMS）电化学地震检波器敏感电极的加工成本,提升传感器的灵敏度,推动其在地球物理勘探等领域的发展,提出了一种基于柔性微电极结构的新型MEMS电化学
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院大学
【基金项目】
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国家重大科学仪器研制专项项目（2013YQ12035703）,国家“863”计划资助项目（2014AA0158）,国家重点研发计划资助项目（2016YFC0301801）
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为了进一步降低微机电系统（MEMS）电化学地震检波器敏感电极的加工成本,提升传感器的灵敏度,推动其在地球物理勘探等领域的发展,提出了一种基于柔性微电极结构的新型MEMS电化学地震检波器。与基于硅衬底制作敏感电极相比,敏感电极的制作方法可以通过有效减小电极间距,大幅度提升传感器的灵敏度,大幅降低工艺成本。介绍了柔性微电极的加工工艺流程,并对传感器的性能进行了测试。结果表明：提出的地震检波器较基于硅衬底微电极器件灵敏度提高了一个数量级。
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