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利用磁控溅射技术在涤纶无纺布表面沉积纳米结构银薄膜,以制得防辐射布。探讨了靶基距、溅射功率、工作气压和进气量等工艺条件对薄膜屏蔽效能的影响。结果表明在时间规定条件下,对屏蔽效能影响大小的排序是：工作气压〉靶基距〉进气量〉溅射功率。
用磁控溅射法制备纳米膜防辐射布的工艺探讨
【摘 要】
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利用磁控溅射技术在涤纶无纺布表面沉积纳米结构银薄膜,以制得防辐射布。探讨了靶基距、溅射功率、工作气压和进气量等工艺条件对薄膜屏蔽效能的影响。结果表明在时间规定条
【机 构】
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深圳市计量质量检测研究院
【出 处】
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纺织科技进展
【发表日期】
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2011年5期
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