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喷雾热分解制膜是以液体物质为制膜基料，雾化后喷射到高温衬底上晶化成膜。对液体要求较低，掺杂准确容易，对成膜环境要求不高，装置和成膜工艺简单，成膜结晶温度低，面积大，均匀。还可以制备超微颗粒粉体。同时分析了成膜机理。利用本方法已成功的制备出ＰＺＴ铁电薄膜、ＭｇＯ薄膜、ＺｎＯ系压薄膜、ＳｎＯ多晶膜等，并给出制膜条件和ＸＲＤ图。