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采用扫描电镜（ＳＥＭ）和扫描俄歇微探针（ＳＡＭ）对国内研制开发的微波ＧａＡｓ功率ＦＥＴ芯片在射频测试中的烧毁进行了分析研究。探讨其烧毁机理及物理过程。
微波GaAs功率场效应晶体管烧毁机理的研究：Ⅱ．射频烧毁
【摘 要】
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采用扫描电镜（ＳＥＭ）和扫描俄歇微探针（ＳＡＭ）对国内研制开发的微波ＧａＡｓ功率ＦＥＴ芯片在射频测试中的烧毁进行了分析研究。探讨其烧毁机理及物理过程。
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1994年04期
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