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随着特征尺寸的不断减小,晶体管的性能面临着许多挑战。本文通过分析当前晶体管发展面临的问题,探究了晶体管的发展现状,并介绍了针对当前技术难点的环栅和隧穿晶体管的结构改进方案。
硅基环栅晶体管和隧穿晶体管研究进展综述
【摘 要】
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随着特征尺寸的不断减小,晶体管的性能面临着许多挑战。本文通过分析当前晶体管发展面临的问题,探究了晶体管的发展现状,并介绍了针对当前技术难点的环栅和隧穿晶体管的结构
【机 构】
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北京邮电大学电子工程学院
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2020年12期
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