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微制造是微机电系统的基础，本文提出了一种掺粉电解复合抛光新工艺方法，将微细磨料均匀掺入电解液中．依靠微型高速主轴带动工具超高速旋转搅动磨料，对工件进行“软磨削”去除表面钝化膜，然后通过电解作用实现对工件的抛光．本文介绍了掺粉微细电解复合抛光的加工原理和实验装置，系统研究了掺粉粒度、浓度和电极转速等对抛光质量的影响，同时研究了电源峰值电压、脉冲宽度和占空比等参数对加工的影响，并获得其工艺规律曲线．在上述总结的最佳工艺参数条件下，进行了微细三维结构零件抛光，加工出的微细螺旋轴直径为Ф100μm，表面粗糙度Ra