论文部分内容阅读
在电容式传声器相关理论以及方形膜研究的基础上，采用圆形硅膜作为振动膜，研制了电容式低频传声器，该传声器直接采用音频传声器结构，不同于以往的电容式低频传声器结构。首先进行了等效结构参数的仿真，为实验提供了理论支持；然后，制备了直径为0．08m，厚度约60呻的圆形硅膜，并以此硅膜为振动膜研发了一种高灵敏度的低频传声器，其中，两极板间的气隙厚度约为100μm。测试表明，当偏置电压为4．5V时，该传声器具有较高的灵敏度，100Hz处的灵敏度约为-27dB，通频带（20-300Hz）平坦，低频响应部分（0-20Hz