AlN/Mo-Ni-Cu的活性封接研究

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采用Ag70-Cu28-Ti2活性焊料在真空条件下对A1N陶瓷和Mo-Ni—Cu合金进行活性封焊。分析焊区的显微组织形态、相组成,测定焊区力学性能和气密性。结果表明:在焊料层与合金的界面处Cu的含量相对较高,而在A1N陶瓷与焊料层的界面处形成了厚度为1~2gm的富Ti层;经XRD分析发现,AIN陶瓷与焊料层的界面上有TiN存在,表明在A1N陶瓷与焊料层的界面处形成了化学键合。焊接后试样的气密性达到1.0×10^-11Pa.m^3/s,抗弯强度σb=78.55MPa,剪切强度στ=189.58MP
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