【摘 要】
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介绍了硅基三维异构集成模块金属互连失效的一种定位方法.通过分析集成模块的金属互连结构,采用介质层剥离、金刚刀裂片、磨削制样等预处理方法,结合聚焦离子束(FIB)、电子能谱(EDAX)等工具,实现了故障点的有效定位.介绍了三维集成模块金属互连失效的一种失效机理.通过对集成模块生产工艺的分析,以及对实验晶圆进行模拟去胶实验,得到了导致失效的工艺原因.研究结果显示:在去胶工艺中,有机残胶未被完全去除,可能会在两层金属的接触界面,例如双层布线通孔界面、晶圆键合界面,产生阻隔、裂缝、孔洞等异常结构,阻碍电流的纵向传
【机 构】
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南京电子器件研究所,南京,210008
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介绍了硅基三维异构集成模块金属互连失效的一种定位方法.通过分析集成模块的金属互连结构,采用介质层剥离、金刚刀裂片、磨削制样等预处理方法,结合聚焦离子束(FIB)、电子能谱(EDAX)等工具,实现了故障点的有效定位.介绍了三维集成模块金属互连失效的一种失效机理.通过对集成模块生产工艺的分析,以及对实验晶圆进行模拟去胶实验,得到了导致失效的工艺原因.研究结果显示:在去胶工艺中,有机残胶未被完全去除,可能会在两层金属的接触界面,例如双层布线通孔界面、晶圆键合界面,产生阻隔、裂缝、孔洞等异常结构,阻碍电流的纵向传输,导致三维集成产品金属互连系统失效.
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