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简述了IC生产加工中光学光刻技术的重要性,发展历程以及发展趋势,对非光学光刻技术的应用作了描述.
光学光刻技术的发展历程及趋势
【摘 要】
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简述了IC生产加工中光学光刻技术的重要性,发展历程以及发展趋势,对非光学光刻技术的应用作了描述.
【机 构】
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东北微电子研究所
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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2002年4期
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