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炉温对化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的影响
炉温对化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的影响
来源 :国防科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangmingli1213
【摘 要】
:
采用SEM、EDX、XRD测试手段对沉积炉壁产物进行了分析,结果表明:低温区沉积的SiC涂层全为β-SiC;高温区SiC涂层中含有少量的游离态Si和α-SiC;高温区SiC颗粒的形核和生长速率
【作 者】
:
刘荣军
周新贵
张长瑞
曹英斌
【机 构】
:
国防科技大学航天与材料工程学院
【出 处】
:
国防科技大学学报
【发表日期】
:
2002年6期
【关键词】
:
涂层组成
显微结构
炉温梯度
化学气相沉积
SIC涂层
碳化硅陶瓷材料
三氯甲基硅烷
furnace temperature gradient CVD SiC
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采用SEM、EDX、XRD测试手段对沉积炉壁产物进行了分析,结果表明:低温区沉积的SiC涂层全为β-SiC;高温区SiC涂层中含有少量的游离态Si和α-SiC;高温区SiC颗粒的形核和生长速率大于低温区;所以温度是影响化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的主要因素.
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