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利用射频磁控溅射法在Pt(200)/TiO2/SiO2/Si衬底上沉积CoFe2O4/Ba(0.8)Sr(0.2)TiO3异质结层状磁电复合薄膜(Ba(0.8)Sr(0.2)TiO3作为底层,CoFe2O4作为顶层)。X射线衍射表明CoFe2O4/Ba(0.8)Sr(0.2)TiO3异质结复合薄膜是多晶的,由钙钛矿Ba(0.8)Sr(0.2)TiO3相和尖晶石Co Fe2O4相组成。场发射扫描电镜表明在CoFe2O4薄膜和Ba(0.8)Sr(0.2)TiO3薄膜之间有明显的界面。复合薄膜的介电常数随频率的