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对正性光刻胶进行UV坚膜处理，可有效地保持图形形貌的完整性，并提高抗蚀性能，可消除等离子刻蚀中容易产生的燃胶等现象，但坚膜用起始温度、终点温度、温升速率及UV光照时间等参数对坚膜效果均会产生较大的影响。参数选择不当，同样会产生不良效果。
等离子刻蚀工艺中UV坚膜技术研究
【摘 要】
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对正性光刻胶进行UV坚膜处理，可有效地保持图形形貌的完整性，并提高抗蚀性能，可消除等离子刻蚀中容易产生的燃胶等现象，但坚膜用起始温度、终点温度、温升速率及UV光照时间等参数
【机 构】
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中国华晶电子集团公司中央研究所,214035
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1994年1期
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