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介绍了一种利用ＥＤＸ和自动数据处理程序相结合。用于ＨｇＣｄＴｅ晶体组合分布研究的描述方法。实际使用结果表明，该方法满足ＨｇＣｄＴｅ晶体组分分布研究的要求，具有快速直观的特点，对指导工艺调整有重要意义，该法可用于其他半导体材料的成分分析。
碲镉汞合金组分分布的描述方法
【摘 要】
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介绍了一种利用ＥＤＸ和自动数据处理程序相结合。用于ＨｇＣｄＴｅ晶体组合分布研究的描述方法。实际使用结果表明，该方法满足ＨｇＣｄＴｅ晶体组分分布研究的要求，具有快速直观的特点，对指导工艺调整有重要意
【机 构】
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哈尔滨工业大学微电子技术教研室
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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1996年1期
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