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梯形凸台衬底内条形半导体激光锁相列阵
梯形凸台衬底内条形半导体激光锁相列阵
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kb824
【摘 要】
:
在P型GaAs梯形凸台衬底上,利用一次液相外延技术,研制出内条形半导体激光锁相列阵.在直流工作条件下,单面最大输出功率超过136mW,平行于结平面方向远场半角宽度2.1°,器
【作 者】
:
张世林
梁惠来
原小杰
杨德林
【机 构】
:
天津大学电子工程系,天津光纤信息技术开发公司天津300072,天津300072,天津300020
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1992年2期
【关键词】
:
半导体
激光
锁相列阵
液相外延
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在P型GaAs梯形凸台衬底上,利用一次液相外延技术,研制出内条形半导体激光锁相列阵.在直流工作条件下,单面最大输出功率超过136mW,平行于结平面方向远场半角宽度2.1°,器件最高激射温度超过80℃.
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