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化学气相淀积硅化钨体系热力学研究

来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ting1991

【摘 要】

：

本文给出了以WF6或WCl6为钨源,以硅烷或氯硅烷为硅源的硅化钨气相淀积体系的热力学研究结果。结合实验,讨论了热力学结果对实验的指导和局限。

【作 者】

：

王永发 张世理 周庆 王季陶 

【机 构】

：

复旦大学材料系,复旦大学材料系,复旦大学材料系,复旦大学材料系

【出 处】

：

电子学报

【发表日期】

：

1989年03期

【关键词】

：

热力学计算 氯硅烷 氢气浓度 摩尔分数 热力学研究 淀积物 反应物 化学气相淀积 

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本文给出了以WF₆或WCl₆为钨源,以硅烷或氯硅烷为硅源的硅化钨气相淀积体系的热力学研究结果。结合实验,讨论了热力学结果对实验的指导和局限。

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