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本文给出了以WF6或WCl6为钨源,以硅烷或氯硅烷为硅源的硅化钨气相淀积体系的热力学研究结果。结合实验,讨论了热力学结果对实验的指导和局限。
化学气相淀积硅化钨体系热力学研究
【摘 要】
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本文给出了以WF6或WCl6为钨源,以硅烷或氯硅烷为硅源的硅化钨气相淀积体系的热力学研究结果。结合实验,讨论了热力学结果对实验的指导和局限。
【机 构】
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复旦大学材料系,复旦大学材料系,复旦大学材料系,复旦大学材料系
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1989年03期
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