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根据Bore提出的一种MEMS薄膜断裂强度静电测试结构，给出了一种改进的数学模型，根据此数学模型可以很简单地测出MEMS薄膜的断裂强度，对各种不同尺寸的结构用Coventor软件对所给模型进行了验证，结果表明所得出的数学模型比原文中所给出的数学模型更为准确。
MEMS薄膜纵向断裂强度的静电测试结构模型与模拟
【摘 要】
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根据Bore提出的一种MEMS薄膜断裂强度静电测试结构，给出了一种改进的数学模型，根据此数学模型可以很简单地测出MEMS薄膜的断裂强度，对各种不同尺寸的结构用Coventor软件对所给模
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年1期
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