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主要介绍了晶体硅太阳电池光电转换效率的工优化，特别是对高发射结方阻方面，以及后道工序中如何使之适应高方阻工艺。在高方阻方面主要采用了深结高方阻，这主要是从工稳定性方面考虑。通过一系列工艺的优化及大量实验，获得了高达635mV的开路电压，5．817A的短路电流，均值18．67％的电池效率。
高方阻密栅电池发射结方阻的优化
【摘 要】
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主要介绍了晶体硅太阳电池光电转换效率的工优化，特别是对高发射结方阻方面，以及后道工序中如何使之适应高方阻工艺。在高方阻方面主要采用了深结高方阻，这主要是从工稳定性方面
【机 构】
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上海交通大学微电子学院
【出 处】
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光电技术应用
【发表日期】
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2013年1期
【基金项目】
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“上海市闵行区校企合作技术创新专项”(#2011MH060)支持
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