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分布重复投影光刻机(DSW)的精度和工作效率直接影响到大规模集成电路生产工艺的特殊要求。为了提高DSW的精度和效率,研究和运用了先进运动控制技术,使光刻工作台定位精度小于±0·5μm;同时应用视频网络技术,实现了远程交互式工作方式。根据要求,完成了DSW的各系统模块的设计,并且开发了基于PC的应用软件。实验结果表明,该改进型DSW体现了较高的应用价值。