【摘 要】
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对功率肖特基二极管（SBD）施加恒定电应力、序进温度应力进行退化实验，考察了反向漏电流IR、理想因子n、势垒高度ΦB以及串联电阻RS等参数的退化情况。可以看出，在退化的过程中，SBD
【机 构】
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北京工业大学电子信息与控制工程学院微电子可靠性研究室
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对功率肖特基二极管（SBD）施加恒定电应力、序进温度应力进行退化实验，考察了反向漏电流IR、理想因子n、势垒高度ΦB以及串联电阻RS等参数的退化情况。可以看出，在退化的过程中，SBD的IR增加较快，n逐渐减小，ΦB逐渐增大，而RS则缓慢增加。综合考察这些退化曲线，采用退化最为明显的IR作为失效判据。基于IR参数退化曲线，使用恒定电应力温度斜坡法（CETRM）模型，推导出该功率肖特基二极管的寿命约为4.3×10^7h，测试结果与实际预测相符。
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