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对高斯圆束矢量扫描作图邻近效应校正的函数进行了深入探讨,并在此基础上确定了函数中的各参数的算法.
邻近效应校正函数及参数确定
【摘 要】
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对高斯圆束矢量扫描作图邻近效应校正的函数进行了深入探讨,并在此基础上确定了函数中的各参数的算法.
【机 构】
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信息产业部电子第四十八研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2001年4期
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