激光光刻相关论文
The technologies of poto and laser lithography are widely used in IC production of different complexity,in semiconductor......
报道用远紫外准分子激光进行亚微光刻的实验结果，以波长为２４８．３ｎｍ的ＫｒＦ准分子激光为光源，以光管均匀器为主构成照明系统，采用带有平行平板为像差......
集成电路产业是现代信息社会的基石.集成电路的发明使电子产品成本大幅度降低,尺寸奇迹般减小.以计算机为例,1 946年诞生的世界第......
随着1946年世界上第一台电子计算机的问世，人类社会的发展便跨入了一个崭新的时代，在其后60多年里，计算机技术以惊人的速度发展，没有任......
随着印制电路板向大面积、高密度的方向发展，大面积成像、高产量、普通抗蚀剂曝光的激光投影曝光机发挥了重要的促进作用。而精密工......
讨论了用醇酸树脂或聚氨脂树脂为平坦层,几种不同的枝状和线状聚硅烷为抗蚀层,在玻璃基片上的XeCl准分子激光光刻效果.由于聚硅烷......
刀具管理是数字化生产线生产管理系统的重要组成部分，目前已有的刀具管理系统无法跟踪刀具在整个使用过程中的实时状态和信息，本文结......
数字化制造系统的运行是以准确高效的刀具、设备、物料与在制品等资源的数据采集为基础。传统的刀具管理手段由于不能区分同批次刀......
本文对混合型节能减排HDI电路板，制造多层印制板的工艺流程，进行了简单的介绍，对所选用的制造工艺技术进行了较为详细的论述。......
本文评述了激光光刻可能采取的方式及其待解决的问题,并对相移掩模技术作了概要的介绍。......
声盘、视及光的亚微米圆弧线一般通过激光刻录机光刻制造，本文结合我国开发的用于磁盘伺服图形录写的激光刻录机，从机械结构、光路系......
介绍工作波长为193nm的投影光刻物镜研究设计,对波长、数值孔径和分辨力的选择,光学结构型式的确定,以及材料和试制加工工艺的考虑......
讨论了相移掩模提高光刻分辨力的基本原理，提出了一种抗蚀剂相移器制作衰减相移掩模的新方法，利用自行设计、建立的ＫｒＦ准分子激光投影光......
一种新的采用基准离焦信号的针孔调焦方案,用于激光直写的自动对焦子系统.通过在离焦曲线上提取参考离焦信号,建立基准离焦判据,它......
无掩模激光干涉光刻中的分束方法一般有波前分割和振幅分割.研究和比较了振幅分割无掩模激光干涉光刻方法和系统,包括振幅分割双光......
激光干涉光刻不受传统光学光刻系统光源和数值孔径的限制,其极限尺寸CD达到曝光波长的1/4,研究了波前分割双光束、三光束方法及四......
搭建了双光束激光干涉光刻系统和激光快速扫描系统.利用干涉光刻系统,实现了不同周期、不同深度、大面积的表面规则光栅织构的构筑......
针对激光直写中的邻近效应的特点，提出通过直写曝光数据补偿进行光学邻近效应校正的快速，有效方法，并获得了满意的实验结果。......
简要概述了激光在半导体技术中的主要应用。这些应用大致涵盖激光掺杂、激光退火、激光沉积薄膜、激光引发固相反应和激光光刻等几......
<正>集成电路的飞速发展有赖于相关的制造工艺——光刻技术的发展,光刻技术是迄今所能达到的最高精度的加工技术。集成电路产业是......
提出了一种新的防伪包装原理，根据该原理设计了将激光光刻技术用于食品的防伪包装，分析表明，这是一种较先进的激光防伪包装技术，可有效......
本文扼要介绍了现阶段国内外用于研制微型机械的主要方法，着重介绍了激光光刻成型法的基本原理、制作微型机械的工艺途径、技术特点......
弱光型非晶硅太阳能电池该产品是一种在２００勒克斯弱光下推动液晶显示器（ＬＣＤ）工作的非晶硅光电转换器件，其生产技术集合了等离子技术、大功率......
期刊
从准分子激光的概念及特点引入，概述了以248nm KrF、193nm ArF以及157nm F2准分子激光光刻技术的现状和进展，并探讨了该领域面临的诸......
随着我国人口老龄化不断加剧,无牙颌修复的任务非常艰巨。传统无牙颌的修复过程至少需要5次就诊才能完成,而初戴后的修改可能需要......
<正>ISBN:978-7-122-21497-3,定价148元,400页,平装,2015年1月出版,化学工业出版社本书是根据多位专家多年实践经验和研究成果编撰......
<正> 激光全息防伪技术是近年来在国内外普遍应用的一项现代化激光应用技术成果。激光全息防伪标识可广泛应用于轻工、医药、食品......
在无掩模激光光刻系统中,TI(Texa instrument,德州仪器)公司基于DLP(digital lightprocessing,数字光处理)架构的DMD(digital micr......
