【摘 要】
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提出了一种新的基于C-SOI工艺制备的电容式微加工超声传感器（CMUT）的方法。通过对加工过程中一些关键工艺步骤进行测试,发现所加工的微传感器尺寸与设计尺寸基本一致,且刻蚀的
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学电子测试技术国防科技重点实验室
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提出了一种新的基于C-SOI工艺制备的电容式微加工超声传感器（CMUT）的方法。通过对加工过程中一些关键工艺步骤进行测试,发现所加工的微传感器尺寸与设计尺寸基本一致,且刻蚀的空腔高度均匀,键合效果良好,证明了工艺流程的可行性。此外,通过对所加工的传感器阵列进行测试发现,各阵元谐振频率和静态电容具有良好的一致性,说明以C-SOI工艺加工的CMUT器件满足设计要求,且适宜加工大阵列,这种加工技术使得加工成像阵列成为可能。
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