对向靶溅射氮化铁梯度薄膜

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氮化铁薄膜具有优异的磁性能,同时又具有良好的耐腐蚀性,是一种优异的高密度磁记录磁头材料.目前已广泛确认的氮化铁系化合物共有4相,分别是α″-Fe_(16)N_2,γ′-Fe_4N,ε-Fe_xN(2≤x≤3)和ζ-Fe_2N.它们的磁矩和Curie温度随含氮量的增加而降低.Fe_(16)N_2在已发现的磁性材料中具有最高饱和磁通密度(2.8~3.0T),Fe_4N和Fe_xN(2≤x≤3)则分别为1.7和1.4T,Fe_2N在常温下为非磁性.铁氮化合物随着含氮量的增高,耐腐蚀性越来越好.作为高密 The iron nitride thin film has excellent magnetic properties and good corrosion resistance and is an excellent high-density magnetic recording head material.It has been widely recognized that the iron nitride-based compound has 4 phases in total, namely α "- (16) N_2, γ’-Fe_4N, ε-Fe_xN (2≤x≤3) and ζ-Fe_2N.The magnetic moments and Curie temperatures of Fe_ (16) N_2 decrease with the increase of nitrogen content.Fe_ (2.8 ~ 3.0T), Fe_4N and Fe_xN (2≤x≤3) were 1.7 and 1.4T, respectively, and Fe_2N was non-magnetic at room temperature.At the same time, Increasing the amount of corrosion resistance is getting better and better
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