【摘 要】
：
在纳米科学与技术领域 ,纳米定位技术是实现纳米加工与测量的关键技术。本文作者采用柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为微位移驱动器 ,设计了一种新颖的三维纳米定位机构 ,给出
【机 构】
：
北京化工大学信息科学与技术学院,北京化工大学信息科学与技术学院 北京100029,北京100029
论文部分内容阅读
在纳米科学与技术领域 ,纳米定位技术是实现纳米加工与测量的关键技术。本文作者采用柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为微位移驱动器 ,设计了一种新颖的三维纳米定位机构 ,给出了其刚度公式和动力学模型 ,对压电陶瓷的压电误差及其补偿方法进行了分析 ,结合激光干涉仪微位移检测装置 ,设计并研制了数字闭环控制的三维纳米定位系统。实验表明 ,该纳米定位系统定位精度优于± 0 .0 3μm,定位分辨力 3nm,最大定位时间 4 0 ms
其他文献
2001年7月16日,中俄两国元首江泽民主席和普京总统在莫斯科签署为期20年的《中俄睦邻友好合作条约》。该条约确立了两国今后在政治、经济、贸易、科技、文化领域及国际事务中
以普通高校教室为研究对象,运用DIALUX软件,从教室灯管布置、模型照明功率密度值、模型照度等方面,分析了教室的光环境,针对光环境设计中存在的问题,提出了优化策略,既解决了
煤矸石作为一种新型的地基材料，具有特殊的物理力学特点，本文通过试验和数值计算，分析了煤矸石的压实特性和承载特性，提出了煤矸石地基的振压方法，为煤矸石的工程应用提供了依据。
案例：周某发包公路给凡某修建。修路挖掘的土方堆倒在陈某房屋后山沟的顶上方。周某虽与陈某协商了相关的安全防范措施．但凡某未及时实施。后发生百年不遇洪灾．陈某房屋后面山体
<正>在小学美术课堂教学中,教师要结合学生的兴趣设计教学内容,在传授美术绘画知识和技能的同时,还要指导学生欣赏美术作品,并使他们在欣赏过程中获得美的享受。这样可以激发
目前，全国各地都在进行市、县、乡级土地利用总体规划的修编工作，本文就如何协调好土地利用总体规划与矿区土地复垦和矿区可持续发展问题谈几点看法。
在开发皖江的空间发展战略背景下,提出沿江城市跨江发展的问题应是顺理成章。安徽高层决策者应把握城市发展的规律,顺势而为,以沿江城市跨江发展为契机,培育新的经济增长点,
纳米定位技术是前沿科学、工程技术领域的关键技术之一 ,是实现纳米加工和纳米测量的基础。本文介绍了纳米定位技术的研究现状 ,给出几种近年来研制的典型纳米定位机构 ,对其
随着时代的变迁与社会的发展,纤维艺术逐渐演化成为了一种独立的艺术形式,它以自身独特的材料语言、丰富的表现形态,来表达情感和文化内涵。相对于熟悉的国画、油画、雕塑以
目的针对其手术治疗与功能康复情况进行研究。方法选取2015年4月—2017年3月到该院进行手术治疗的96例踝关节骨折患者。将患者随机分为观察组(n=48)和对照组(n=48),根据患者