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Preparation and Characterization of DLC Films by Twinned ECR Microwave Plasma Enhanced CVD for Micro

来源 :武汉理工大学学报：材料科学英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yhbx

【摘 要】

：

Diamond-like carbon (DLC) films have recently been pursued as the protection of MEMS against their friction and wear.Plasma enhanced chemical vapor deposition (

【作 者】

：

LIXin TANGZhen-an DENGXin-lu S 

【机 构】

：

DalianUniversityofTechnology,ShenyangUniversityofTechnology

【出 处】

：

武汉理工大学学报：材料科学英文版

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

微机电系统 DLC薄膜 ECR-MRECVD 微波等离子体增强CVD 化学气相沉淀 类金刚石碳 DLC films ECR-MPECVD MEMS 

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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论文部分内容阅读

Diamond-like carbon (DLC) films have recently been pursued as the protection of MEMS against their friction and wear.Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique is very attractive to prepare DLC coating for MEMS.This paper describes the pr

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