【摘 要】
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由于生长期间熔体中 In 的分凝和金属 As 化学计量比的变化,用 LEC 法生长的 In-合金 GaAs 晶体显示出非均匀性。由富 As 熔体生长出来的晶体有很好的电学均匀性。In-合金位
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由于生长期间熔体中 In 的分凝和金属 As 化学计量比的变化,用 LEC 法生长的 In-合金 GaAs 晶体显示出非均匀性。由富 As 熔体生长出来的晶体有很好的电学均匀性。In-合金位错抑制效应大大地提高了结晶的均匀性。
In-alloy GaAs crystals grown by the LEC method exhibit inhomogeneities due to the segregation of In in the melt and the change in the As stoichiometry of the metal during growth. The crystals grown from the As-rich melt have good electrical uniformity. In-alloy dislocation suppression effect greatly improves the uniformity of the crystal.
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