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针对石墨舟上下料机硅片传输的流程,分析产生碎片的部件、动作和原因,提出合理的改善方法,优化程序,并利用机器人和石墨舟检验吸盘和固定定位部件的安装精度,从而降低碎片率,提高设备运行的稳定性和良品率。
降低石墨舟上下料机碎片率方法分析
【摘 要】
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针对石墨舟上下料机硅片传输的流程,分析产生碎片的部件、动作和原因,提出合理的改善方法,优化程序,并利用机器人和石墨舟检验吸盘和固定定位部件的安装精度,从而降低碎片率,
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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山西电子技术
【发表日期】
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2019年3期
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