【摘 要】
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采用射频溅射工艺制得细小均匀的 β-Sn纳米锡膜 ,然后通过氧化处理工艺获得组织非常细小均匀的纳米级二氧化锡薄膜 .X-衍射实验结果表明 Sn和 Sn O2 晶粒尺寸分别约为 6 nm
【机 构】
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采用射频溅射工艺制得细小均匀的 β-Sn纳米锡膜 ,然后通过氧化处理工艺获得组织非常细小均匀的纳米级二氧化锡薄膜 .X-衍射实验结果表明 Sn和 Sn O2 晶粒尺寸分别约为 6 nm和 5 nm,采用该工艺获得的Sn O2 纳米薄膜结构比较稳定 ,为薄膜型 Sn O2 气敏元件新工艺研究提供了基础性资料
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