GaInP_2/GaAs/Ge级联电池隧道结的结构设计及金属有机化学汽相淀积生长研究

来源 :陕西师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：szgang052809

【摘要】

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采用国产的低压金属有机化学汽相淀积(LP—Metal Organic Chemical Vapor Deposition．简写为LP—MOCVD)设备，生长了GaInP2／GaAs／Ge双结级联电池隧道结，分析了隧道结结构的设计原理

【作者】

：

王晋国李晓婷魏俊波

【机构】

：

长安大学理学院

【出处】

：

陕西师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

GAAS 隧道结掺杂 GaAs tunnel junction doping

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(2040174032),,长安大学科研基金资助项目(2004J01)

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采用国产的低压金属有机化学汽相淀积(LP—Metal Organic Chemical Vapor Deposition．简写为LP—MOCVD)设备，生长了GaInP2／GaAs／Ge双结级联电池隧道结，分析了隧道结结构的设计原理．利用霍耳测试仪、X射线双晶衍射仪、二次离子质谱仪，对隧道结的重掺杂和互扩散特性进行了研究．结果表明，在生长温度为600℃，H2Se流量为3mL／min及隧道结N型层掺杂剂选用Se的条件下，可得到电子浓度为5×10Hcm^-3；而采用自掺C(通过不断改变五族元素与三族

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