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用ＸｅＣｌ紫外与ＣＯ２红外复合激光化学气相沉积方法，在３４０℃硅衬底上沉积成高纯金刚石膜。
激光低温沉积金刚石膜
【摘 要】
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用ＸｅＣｌ紫外与ＣＯ２红外复合激光化学气相沉积方法，在３４０℃硅衬底上沉积成高纯金刚石膜。
【机 构】
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中国科学院金属研究所
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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1996年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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