用于芯片光刻的新型X射线源

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:czn2000
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日本、英国和美国公司正竞相发展一种称为同步加速器的强X射线源,此源对集成电路制造商发展下一代计算机芯片必不可少。但康乃尔大学的等离子体物理学家已演示一种完全按不同方法工作的廉价X射线源。据称。他们的X“箍缩”源约化50万美元即能建造,相比之下, Japanese, British and U.S. companies are competing to develop a strong X-ray source called a synchrotron that is essential for IC manufacturers to develop the next generation of computer chips. But plasma physicists at Cornell University have demonstrated a cheap X-ray source that works entirely different ways. Allegedly. Their X “pinch ” source can be built about 500,000 US dollars to build, in contrast,
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