基于AFM的微纳米结构力学特性测量

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 8次 | 上传用户:xiaoF123456789
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原子力显微镜 (AFM)以其优异的特性不仅在微米、纳米的范围内获取图象 ,同时可以获取针尖与样品之间的作用力 ,为研究样品的力学性能提供了新思路。对AFM在力学测量上的原理和应用进行了综述 ,并提出基于AFM的生物样品的力学测量的新方法。
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